鎢燈絲掃描電子顯微鏡具有明場、暗場、偏光以及微分干涉等不同的觀察模式。在金相組織觀察過程中，常規應用廣泛的就是明場，大部分金相檢驗檢測都可以通過明場模式拍攝。然而，暗場、偏光以及微分干涉在材料分析中具有其*作用的。
鎢燈絲掃描電子顯微鏡是將傳統的光學顯微鏡與計算機通過光電轉換有機的結合在一起，不僅可以在目鏡上作顯微觀察，還能在計算機顯示屏幕上觀察實時動態圖像，并能將所需要的圖片進行編輯、保存和打印。盡管類型很多，但其結構大體可以分為光學系統、照明系統、機構系統三個部分；此外還有照相裝置，顯微硬度等。
如何校準鎢燈絲掃描電子顯微鏡的誤差：
1、物鏡放大倍數的正確性：裝上10X標準目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標準沒微尺放在工作臺上并壓緊。調查時測微尺應與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測是放大倍數的偏差。其余物鏡以此類推舉行校校準，其偏差不大于5%。
2、目鏡分劃板的準確度：將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬工顯工作臺上并調好焦距;調解工作臺，使分劃板的水平線與萬工顯縱導游軌行程平行并對好零位，按每20格測量一次，直到第100格，其偏差不大于5um。
3、物鏡成像清楚局限：用被檢物鏡及10X目鏡對測微尺或金相試樣舉行調焦，使成像清楚。當視場中心像非常清楚時，測得視場內的成像清楚局限的偏差不低于60%。
4、各物鏡相對于目鏡的格值：裝上被檢儀器的10X目鏡，將0.01mm標準測微尺(推薦應用隨機0.01mm測微尺)放在工作臺上并壓緊;調解測微尺標尺軸線與儀器目鏡分劃板標尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線里包括測微尺n條刻線數，該物鏡相對于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推舉行校準。
以上內容就是對如何校準鎢燈絲掃描電子顯微鏡的誤差的介紹了，鎢燈絲掃描電子顯微鏡是普遍用于冶金、機械加工、科技等行業的丈量儀器
